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1200℃雙溫（wēn）區CVD係統
所屬分類（lèi）：
關鍵詞：
CVD
雙溫區（qū）CVD係統
銷售熱線：
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- 技術參數
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- 商品（pǐn）名稱: 1200℃雙溫區CVD係統
- 商品（pǐn）編號: 1034429773968662528
產品用途：此款CVD生長（zhǎng）係統適用於（yú）CVD工藝（yì），如碳化矽鍍膜、陶瓷基（jī）片導電率測試、ZnO納米（mǐ）結（jié）構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結（jié）等實驗。
銷售熱線：15122725930
產品用途：
此款CVD生長（zhǎng）係統適用於CVD工藝，如碳化矽鍍（dù）膜、陶瓷基片導電（diàn）率（lǜ）測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
產品組成：
此款CVD係統配置：
1.1200度開啟式真空管式爐（可（kě）選配單溫區、雙溫區（qū））。
2.多路質量流量控（kòng）製係統（tǒng）
3.真空係統（可選配中真空（kōng）或高真空）
產品特點：
1 控製電（diàn）路（lù）選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣（guàn）性小，溫度不過衝，性能可靠，操作（zuò）簡單。
2 氣路快速連接法蘭結構采用本公司設計,提高操作便捷（jié）性。
3 中真空（kōng）係統具有真空度上下限自動控製功能（néng），高真空係統采用高壓強，耐衝擊分子泵
防止意外漏（lòu）氣造成分子泵損壞，延長係統使用（yòng）壽命。
係統名稱
1200℃單/雙溫區CVD係統
係統型號
CVD-12II-3Z/G
CVD-12II6-3Z/G
最高溫度
1200℃
加熱區長度
420mm
600mm
恒溫（wēn）區長度
280mm
390mm
溫區
雙溫區
雙溫（wēn）區
石英管管徑（jìng）
Φ50/Φ60/Φ80mm
Φ80/Φ100mm
額定功率
3.2Kw
4.8Kw
額定電壓
220V
溫度控製（zhì）
國產程（chéng）序控溫係統50段程序控溫；
控製精度
±1℃
爐管最高工作溫度
＜1200℃
氣路法蘭
密封法蘭與管件連（lián）接的地方采用多環密封技術，在（zài）密封法蘭與管外壁間形成了密封，在管件外徑誤差較大的情（qíng）況下密封仍然有效，該密（mì）封（fēng）法蘭的安裝（zhuāng）隻需在第一次使用（yòng）設備的時候安裝
氣體控（kòng）製方式
質量流量計
氣路數量
3路（可根據具體需要選配氣路數量）
流量範（fàn）圍
0-500sccm(標準毫升（shēng）/分，可選配）氮氣標定
精度
±1%F.S
響應時間
≤4sec
工作溫度（dù）
5-45℃
工作壓力
進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）
係統連接（jiē）方式
采用（yòng）KF快速連接波紋管、高真空手動擋（dǎng）板閥（fá）及數顯真空測（cè）量儀
規格
高真空
係（xì）統真（zhēn）空範圍
1x10-3Pa-1x10-1Pa
真空泵
真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1200L/S額定（dìng）電（diàn）壓220V 功率2KW
真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1600L/S額定電壓220V 功率2KW
爐體外形尺寸
340×580×555mm
480×770×605mm
係統外（wài）形尺寸
530x1440x750mm(不含高（gāo）真空)
係統總重量（liàng）
330kg
關鍵詞:- CVD
- 雙溫區CVD係統
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