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1200℃滑動雙溫區/多溫（wēn）區PECVD係（xì）統
產品用途：產品專業性：PECVD係統是借助射頻使含有薄膜組成（chéng）原子的氣（qì）體電離，在局部形成等離子體，而（ér）等離子體化學活性很強，很容易（yì）發生反應，在（zài）基片上沉積出所期望的薄膜。
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- 商品（pǐn）名稱: 1200℃滑（huá）動雙溫區/多溫區PECVD係統
- 商品編號: 1034429608717279232
產品用途：產品專業性：PECVD係統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成（chéng）等離子體（tǐ），而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積（jī）出所期望的薄膜。
銷售熱線：15122725930
產（chǎn）品用途：
產品專業性（xìng）：
PECVD係統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等（děng）離子體化學活性（xìng）很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產品組成：
PECVD係統配置：
1.1200度開啟式雙溫區真（zhēn）空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質量（liàng）流量控製係統
4.真空係統（可選配中真（zhēn）空或高真空）
產品特（tè）點：
生長溫度低；沉積速率快；成（chéng）膜質量好，適用範圍廣，設備簡單。
產品留言
電話（huà）：15122725930（微信）
郵箱：ctjzh2828@126.com
網址：WWW.CTJZH.COM
地址：天津北辰科技園區雙川道11號
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