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1200℃雙管滑動式單、多溫區CVD係統（tǒng）
所屬分類：
關鍵詞：
CVD係統
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- 商品名（míng）稱: 1200℃雙管（guǎn）滑動式單、多溫區（qū）CVD係統
- 商品編號: 1034429665285857280
產品用途：此款CVD係統是專門為（wéi）在金屬箔上生長薄（báo）膜而設計，特別是應用在新一代能源關於柔性金屬箔電極（jí）方麵的研究，通過（guò）滑動爐實（shí）現快速加熱和冷卻。
銷售熱線：15122725930
產品用途：
此款（kuǎn）CVD係統是專門為在金屬（shǔ）箔上生長薄（báo）膜（mó）而設計（jì），特別是應用在新一（yī）代能源（yuán）關（guān）於柔性金屬（shǔ）箔
電極方麵的研究（jiū），通過滑（huá）動（dòng）爐實現快速加熱和冷卻（què）。
產品組成：
CVD係（xì）統配置：
1.1200度開啟式真空管式（shì）爐（可選配單溫區及雙溫區）。
2.滑動係（xì）統分為（wéi）手動（dòng）、電動滑動，並配有風冷係統。
3.內外雙石英管，采用真空可（kě）通氣氛雙法蘭特殊連接。
4.多路氣（qì）體流量控製係統（質子流量控製器和浮子流量控製器）
5.真空係統（可選配中真空或高真空）
產品特點：
產品獨（dú）特性
1 控製電路選（xuǎn）用模糊PID程（chéng）控（kòng）技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過衝，性能（néng）可靠，操作簡單。
2 氣路快速連接法（fǎ）蘭結構采用本公司設（shè）計,提高操作便捷性。
3 中真空係統（tǒng）具有真空度上下限自動控製功能，高真空係統采用高壓強，耐衝擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長係統使用壽命。
4 (電動)滑動係統采用溫（wēn）度控製器自動控（kòng）製（zhì）爐體移動，等程序完成，爐體按設定的速度滑動，因有滑動限位功能，爐體不會發生碰撞，待樣品露出爐體（tǐ）後（hòu），通過風冷係統快速降溫。
5 雙管真空密封（fēng）法蘭，反應氣體可以在內外（wài）管之間發生反應，冷卻氣體可通過（guò）內管，從而（ér）使內管外（wài）壁溫度降低。
係統名稱
1200℃雙管滑動式單/多溫區CVD係統
係統型號（hào）
CVD-12II6SH-3Z/G
CVD-12III9SH-3Z/G
最高溫度
1200℃
加（jiā）熱區長度
610mm
940mm
恒溫區長度
400mm
700mm
溫（wēn）區
雙溫區
三溫區
石英管管（guǎn）徑
內管：Φ80mm 外管：Φ100mm
額定功率
4.8Kw
7.2Kw
額（é）定電壓
220V
380V（三相）
滑動距離
485mm
650mm
滑動方式
手動滑動/自動滑動(由溫度控製器自動（dòng）控製（zhì）移動，當程序完成（chéng），爐（lú）子按設定的速度滑動）
溫（wēn）度控製
國（guó）產程序控溫（wēn）係統50段程序控溫；
控（kòng）製精度
±1℃
爐管最高工作溫度
＜1200℃
雙管法蘭連接
采用雙法蘭（lán）雙卡箍連接（jiē）可擴展多功能，並且分別獨立對內管和外（wài）管進行真空和氣體流量控製.密封法蘭與管件連（lián）接的地方采用多環密封技術，在密封（fēng）法蘭與管外壁間形成（chéng）了密封，在管件外徑誤差較（jiào）大的（de）情況下密封仍然有效，該密封法蘭的（de）安裝隻需在第一次使用設備的（de）時候安裝
氣體控（kòng）製方（fāng）式
質量流量計
氣路數量
3路（可根據具體需要選配氣路數量）
流量範（fàn）圍
0-500sccm(標準毫升/分，可選配）氮氣標定
精度
±1%F.S
響應時（shí）間
≤4sec
工作溫度
5-45℃
工（gōng）作壓力
進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）
係統連接方式
采用KF快速連接波紋管、高（gāo）真空手動擋板閥及數顯真空測量（liàng）儀
規格
高真空
係統真空範圍
1x10-3Pa-1x10-1Pa
真（zhēn）空泵
真空分子泵（bèng）理論極限真空（kōng）度
5x10-6Pa抽氣速率1600L/S
額定電壓220V 功率（lǜ）2Kw爐（lú）體外形尺寸
480×770×605mm
410×1100×605mm
係統外形尺寸
530×1440×750mm(不含高真空)
係統總重量（liàng）
340Kg
關鍵詞（cí）:- CVD係統
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