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1200℃預加熱滑動雙溫區/多溫區（qū）PECVD係統
產品應用：PECVD係統是借（jiè）助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體（tǐ），而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望（wàng）的薄膜（mó）。
所屬分類：
關鍵詞：
預加熱（rè）滑動雙溫區/多溫區（qū）PECVD係（xì）統
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- 商品名（míng）稱: 1200℃預加熱滑動雙溫區/多溫區PECVD係統
- 商品（pǐn）編號: 1034429634549997568
產品應用：PECVD係統是借助射頻使含有薄膜（mó）組成原子的氣體電離，在局部形成等離子（zǐ）體，而等離子體化學活性很強，很容（róng）易發生反應，在基片上沉積出所期望（wàng）的薄膜。
銷售熱線：15122725930
產品應用：
PECVD係統是借助射頻使（shǐ）含有薄膜組成原子的氣體電（diàn）離，在局部形成（chéng）等離子體，而（ér）等離子體化學活性很強，很容易發生（shēng）反應（yīng），在基（jī）片上沉積出所期（qī）望的薄膜。
產品組成：
PECVD係統配置：
1.1200度開（kāi）啟式雙溫區真空管式爐
2.滑動係統分為手動（dòng）、電動滑動，並配置管內測溫係統。
3.預加熱開啟式管式（shì）電爐
4.等離（lí）子射頻電源
5.多路質（zhì）量流量控製係統
6.真空係統（可選配中真空或高真空）
產品特點：
生長溫度低（dī）；沉積（jī）速率快；成膜質量好，適用範圍廣，設備（bèi）簡單。
關鍵詞:- 預（yù）加熱（rè）滑（huá）動雙溫區/多溫區PECVD係統
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