— 產品分類（lèi） —
1200℃滑動式單、雙、三溫區CVD係統
所屬分類：
關鍵詞：
CVD係統
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- 商品名稱（chēng）: 1200℃滑動式單、雙、三（sān）溫區CVD係統
- 商品編號: 1034429691655446528
產品（pǐn）用途（tú）：此（cǐ）款CVD係統適用於CVD工藝，如碳化矽鍍膜、陶瓷基片導電（diàn）率測試（shì）、ZnO納米結構的（de）可控（kòng）生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結真空淬（cuì）火退火，快速降溫等工藝實驗。
銷售熱線：15122725930
產品用途：
此款CVD係統適用於CVD工藝，如碳化矽鍍膜、陶瓷基片導電率測（cè）試、ZnO納米結構的可控
生長、陶（táo）瓷電容（MLCC）氣氛燒結真空淬火退火，快速降（jiàng）溫等工藝實驗。
產品組成：
CVD係統配置：
1.1200度開啟式真（zhēn）空管式爐（可（kě）選配多溫區（qū））。
2.滑動係統分為手動、電動滑動，並配有風冷係（xì）統。
3.多路質量流量控製係統
4.真空係（xì）統（可選（xuǎn）配中真空或高真空）
產品特點：
1 控製電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫（wēn）精度高，熱慣性小，溫度不過衝，性能可靠，操作簡單。
2 氣路快速連（lián）接法蘭結構采用本（běn）公司設計,提高操作便捷性。
3 中真（zhēn）空係統（tǒng）具有真空度上下限自動控製功能，高真空係統采用高壓強，耐（nài）衝（chōng）擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞，延（yán）長係（xì）統使用壽命。
4 (電動)滑動係統采用溫度控製器自動控製爐體移動，等程（chéng）序完成，爐體按設定的速度滑動，因（yīn）有滑動限位功能（néng）爐體（tǐ）不會發生碰撞，待（dài）樣品露出爐體後，通過風冷係統快速降溫。
關鍵詞:- CVD係統
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